抛光磨头在使用时通常需要搭配多种配套设备，以实现准确的抛光作业，具体包括以下设备：
供液设备：在化学机械抛光等工艺中，需使用蠕动泵等设备按设定流量均匀供给抛光液，以保证抛光过程的稳定性和一致性。
驱动设备：为抛光磨头提供旋转动力，常见的有电动抛光机、气动打磨机等。电动抛光机通过电机驱动软轴，带动手持研抛头旋转，可配置直杆旋转式、角式旋转式等多种研抛头，适应不同加工需求；气动打磨机则以压缩空气为动力，带动手机头内的微型轴承旋转，使磨具随之转动，产生切削力，具有转速高、噪声小的特点。
研抛工具：与抛光磨头配合，实现不同加工效果。如带轴砂轮，由氧化铝烧结而成，有圆柱形、圆锥形等多种形状，可安装在手持电动直杆旋转式研抛头上，对复杂曲面进行修磨；毛毡夹紧器可用于精细抛光，通过紧固尼龙纤维圆布、羊毛毡等在塑料环上，实现对型腔或型孔的抛光。
辅助设备：提升抛光磨头加工精度和效率。例如，回转工作台可作平面360°旋转，亦可向前作90°直角空间内的任意角度翻转，使装夹在上面的工件加工型面处于适宜的加工位置，便于操作人员进行加工；大视场透镜照明工作仪安置在万向支架上，放大倍率为5倍，采用冷光源，可使加工型腔面得到清晰的放大视场，方便判断加工状况。